中國科學院微電子研究所射頻電源(RFGenerator)課題組(http://www.rf-power.net)從1984年開始研發電子管射頻電源(13.56MHz),1985年研制成功,獲得“六五”攻關榮譽證書以及“FD-2反應離子刻蝕機與超精細刻蝕研究”項目二等獎。 從2010年開始受到極大規模集成電路制造裝備與成套工藝專項(國家02重大專項)資金支持,研發晶體管射頻電源,2011年研發成功300W-3000W晶體管射頻電源(13.56MHz),獲得第七屆國際發明展覽會銀獎與第七屆北京發明創新大賽金獎。 經過二十多年的發展完善,產品的性能不斷提高,規格齊全,年銷售電子管與晶體管射頻源占國內市場份額的70%以上。 目前射頻電源組分為三個部門:產品研發部,產品生產部,產品推廣與售后服務部。 產品研發部:有專業研發人員7人,其中碩士及以上比例100%,具有教授級職稱2人,具有博士學歷3人,從清華大學,中科院電工所,中國科學技術大學引進資深射頻技術與自動控制專家3人,目前已建立起一支由高級研發顧問**導的國際化研發人才團隊。 產品生產部:有專業技術工程師17人,具有500平方專業射頻電源生產與測試車間(可以進行ESD,EMC等測試),年生產能力達3000臺套。 產品推廣與售后服務部:有專業推廣銷售人員4人,專業售后服務人員2人,其中碩士及以上比例100%。 目前開發成熟的電子管與晶體管射頻電源產品有:300W、500W、1KW、1250W、1.5KW、2KW、3KW、5KW、6KW、8KW、10KW等多種規格以及不同功率的400KHz高頻電源及不同功率的穩流源與自動匹配器。 射頻電源廣泛應用于等離子體研究,集成電路工藝設備,太陽能光伏工業,LED制程,薄膜生長,感應加熱,醫療**域的消毒與理療,等離子清洗等**域。 產品現已售往北京、上海、杭州、蘇州、香港、南京、西安、成都、深圳等地的幾十所高校、科研單位及半導體設備廠等高技術公司,得到用戶的一致好評。